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定制產(chǎn)品
六氟化鉬 CAS#: 7783-77-9
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產(chǎn)品詳情
六氟化鉬(MoF6),相對分子量為209.93,熔點(diǎn)為17.5℃,沸點(diǎn)為35℃,低溫下為白色塊狀結晶,對濕空氣敏感。在強氧化劑存在下,六氟化鉬能侵蝕許多金屬(金、鉑除外),使金屬表面變?yōu)樗{色。六氟化鉬可用于鉬的同位素分離,在電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相淀積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線(xiàn)和柵極。
產(chǎn)品指標
氮氣Nitrogen (N2)≤ | Vol.ppm | 50 | 1 | 0.5 |
(氧+氬) Oxygen+ Argon. (O2+Ar)≤ | Vol.ppm | 50 | 0.5 | 0.5 |
二氧化碳Carbon dioxide (CO2) ≤ | Vol.ppm | - | 0.5 | 0.5 |
一氧化碳Carbon monoxide (CO)≤ | Vol.ppm | - | 0.5 | 0.5 |
六氟化硫Sulfur hexafluoride (SF6) ≤ | Vol,ppm | 10 | 0.5 | 0.5 |
四氟化硅Silicon tetrafluoride (SiF4) ≤ | Vol.ppm | 10 | 0.5 | 0.5 |
氟化氫Hydrogen fluoride (HF) s | Vol.ppm | 800 | 1 | 1 |
產(chǎn)品用途:
六氟化鉬的主要應用領(lǐng)域是在微電子工業(yè)中用化學(xué)氣相沉積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線(xiàn),也可用作強氟化劑、成膜材料及離子摻雜劑,還可用于鉬同位素分離。
包裝、貯存:
六氟化鉬充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8L和47L,具體包裝規格可根據用戶(hù)需求定制更改。六氟化鉬儲存干陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫房中,遠離火種、熱源。儲區應備有泄漏應急處理設備。
廠(chǎng)房環(huán)境